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ハネウェルは、新しい半導(dǎo)體の銅およびマンガンスパッタリングターゲットを発表

2014-9-28 12:45:40 click category:新聞資訊

新しいターゲットハネウェル等しいチャネル角度モデリング(ECAE)特許技術(shù)は、高度な生産技術(shù)によって開発されたアルミニウム及びアルミニウム合金用ハネウェル當初の目標である。

ハネウェル対象ビジネスプロダクトディレクターのクリス?拉皮耶特拉(ChrisLapietra)「ハネウェル電子材料は、冶金における経験と専門知識のほぼ半世紀を蓄積してきた」、言った: "これらの技術(shù)を用いることにより、私たちは、お客様が製品技術(shù)の恩恵を助けるために開発し続け、新たなECAE銅マンガン合金ターゲットが良い例です。"

ECAE処理は、超微細結(jié)晶粒サイズの目標は、より高い材料硬度、より少ない不純物粒子を高度に均一な材料構(gòu)造を確保する必要が使用して製造。新しいECAE銅 - マンガン合金ターゲットは、サブミクロンサイズ未満である一方、通常の標準粒徑ターゲットは、典型的には50?80ミクロンの間である。超微細粒子サイズを生成するためにECAE技術(shù)を用いて効果的にスパッタリングターゲットと共通のバックプレーン設(shè)計の使用において、半導(dǎo)體メーカーを回避することができる電圧の問題の急激な低下が発生します。問題は、放電の先端の原因となり、不純物粒子の形成は、粒子に影響を與えラウンド品質(zhì)、廃車、不要なコスト高の原因となる、新たな目標に置き換えウェーハを生じた。

強化された硬さは、拡張対象の壽命は3600キロワット時間の時間に、元の1800キロワットから持ち上げ、倍増するように金屬ターゲットを使用すると、デザインを統(tǒng)合することができますことができます。拡張壽命は製造業(yè)者が、全體的な生産コストを削減する半導(dǎo)體メーカーを支援するために貢獻するこれらの全ては、必要なターゲットマシンの交換やメンテナンスの時間と労力を節(jié)約、ターゲットの需要を減らすことを意味します。